基于时空分离AFM微悬臂的模糊PID控制研究
作者:
龙运栋
[1] ;
段小刚
[1] ;
李涵雄
[1,2]
关键词:
原子力显微镜
微悬臂
分布参数系统
模糊PID
摘要：
针对原子力显微镜（AFM）微悬臂的柔性特征，提出了一种基于时空变量分离的模糊PID控制方法。由于AFM的微悬臂探针的运动精度非常高，对扰动很敏感，因而需建立微悬臂的分布参数系统模型。在保持柔性微悬臂的空间振动特性的基础上，将基于时空变量分离控制方法，结合鲁棒性强的模糊PID控制方法运用到AFM微悬臂探针的控制上，这样使控制器的设计不用考虑空间耦合的影响。通过实验仿真结果，这种方法有效地提高了AFM的微悬臂探针的控制性能和稳定性。
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